3個常見的高真空真空泵特點闡述： 

（一）旋片式真空泵

高真空的旋片式真空泵以萊寶單級旋片泵、雙級旋片泵為例，具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優點。所以，它適用于作前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。

（二）羅茨真空泵

高真空的還有羅茨真空泵，同樣萊寶真空泵也是高真空泵的，羅茨真空泵是一種旋轉式變容真空泵，須有前級泵配合方可使用在壓力范圍內有較大的抽速。

羅茨真空泵對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏.感，這使得它可應用的范圍更廣，如冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

高真空羅茨真空泵主要用于真空機組的主泵，但需要用前級泵輔助才能發揮較大抽速及真空度。羅茨泵可與其他真空泵組成羅茨水環真空機組、羅茨旋片真空機組、羅茨螺桿真空機組等，國內zui大羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。

（三）滑閥式真空泵

滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。優點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。

用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫藥等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。