在真空泵使用中，由于各種原因產生異常現象或發生故障后，除迫不得已，不應拆開整個泵浦；在未加分析或不明用途、原理情況下更不應拆卸泵浦。一般應首先試用調整的方法解決問題。若不能湊效，才可考慮拆解修理或更換零部件，并且應由專業人員進行。在拆解泵浦的過程中，應注意如下細節：

1、拆解拆卸的工作場所一定要保持清潔，最好在凈化車間內進行。

2、在真空泵維修時，要完全清楚泵浦中的潤滑油，同時還要考慮好如何處理廢真空泵油的回收，并把真空泵油排除干凈。

3、泵浦拆卸時要用適當的工具，以免損壞零件等。

4、拆卸時，個泵浦零件需妥善放好，并加以標示，以便組裝。

5、真空泵零部件精度較高，要注意零件表面的保護，防止劃傷、碰傷等不良現象發生。

6、在拆卸真空泵回油管時，要事先清理周圍的污垢。拆卸后，回油管開口處用干凈的塑料制品或石蠟制品堵住，以免雜質進入回油管內。同時注意回油管的標示，以便組裝。

7、在更換O型圈、油封等密封件時不應用尖銳的工具，避免損傷，O型圈組裝時，注意密封圈不允許扭曲變形，要保證滑動過程中的潤滑性能。

8、安裝油管接頭，要注意擰緊力度適當，不應過緊。回油管道一般是銅材質制造而成，用力過度會導致油管滑牙、變形。

9、安裝轉子等相對重的關鍵零部件，應當用支撐架或者其他工具支撐住，防止滑落導致損傷。