真空泵從選購到使用過程中的注意事項

萊寶真空泵

1.真空泵工作壓強范圍的選擇。

在選擇真空泵的類型時，需要考慮被抽真空室要達到的極限壓強和工作壓強。每種真空泵都有一定的工作壓強范圍。

2.真空泵大小的選擇 。

選擇真空泵的大小，就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據兩點：

（1）根據被抽真空室工作時所需要的工作壓強和室內的最大排氣流量來決定。每種泵都有其極限壓強和最佳抽速壓強范圍，真空室內壓強要在泵的最佳抽速壓強范圍內。

（2）根據真空室的大小和抽氣時間要求來選擇。 另外真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

有時候工作壓強由單獨一種真空泵并不能達到。此時需要正確地將不同的真空泵組合成為真空機組，以滿足工作要求。 例如半導體行業真空室體積較大，要求真空室內工作環境清潔無油，抽氣時間盡量短、以提高工作效率。這時抽速為15～60立方米/小時（4～16升/秒） 的無油渦旋真空泵，可以與羅茨泵組成無油真空機組，達到接近600立方米/小時（150升/秒）的抽速，實現大抽速、清潔無油的目標，就能夠很好的滿足半 導體行業鍍膜生產線的要求。

3.考慮真空泵對周圍環境的影響。

如果工作場所周圍環境不允許有污染，紅外碳硫分析儀如潔凈室等，就要選擇無油真空泵。

4.考慮真空泵工作時產生的噪音與振動對工藝過程及環境的影響。