真空泵有哪些類型？

(1)按真空泵的工作原理分類 

　　①抽除式，真空泵抽吸系統中的氣體，并將氣體分子排至系統之外。 

　　②捕集式。真空泵捕集系統中的氣體分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統。 

(2)按真空泵結構分類 

　　①機械式。這類真空泵類似于壓縮機，屬于容積型的有往復式與回轉式結構，還有屬于動力式的渦輪分子泵，它們都屬于抽除式真空泵。 

　　②噴射泵。有噴射泵與擴散泵兩種形式，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。 

　　③吸著式。依靠物理或化學方法使氣體分子吸著在泵壁表面，屬于捕集式真空泵。 

(3)按真空泵在系統中的工作職能分類 

　　①主抽氣泵。實現所要求壓力的主要工作泵。 

　　②預抽氣泵。當主抽氣泵不能在大氣狀態直接開始抽吸時，需要預抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進入工作。 

　　③前級泵。當主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時，需串接前級泵排送。 

　　④維持泵。當主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統泄漏或表面蒸發等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續抽吸。